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【24h】

Fabry-Perot interferometer embedded in a glass chip fabricated by femtosecond laser

机译：飞秒激光制造的嵌入玻璃芯片中的Fabry-Perot干涉仪

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We report a simple Fabry-Perot interferometer (FPI) embedded in a glass chip, which is capable of precisely measuring the refractive indices of liquid samples. The microdevice is the integration of a single-mode optical fiber and a microchannel in the photosensitive glass fabricated by femtosecond laser followed by thermal treatment, wet etching, and annealing. The function of the FPI is demonstrated by measuring the refractive indices of water and methanol. The interference visibility is more than 4.0 dB, which is sufficient for most sensing applications. This refractive index sensor with rigid structure could be further integrated to become a more complex 3D lab-on-a-chip for reliable biomedical applications.
机译：我们报告了一种嵌入在玻璃芯片中的简单Fabry-Perot干涉仪（FPI），它能够精确测量液体样品的折射率。微型设备是将单模光纤和微通道集成到由飞秒激光制造，然后进行热处理，湿法蚀刻和退火的光敏玻璃中。 FPI的功能通过测量水和甲醇的折射率来证明。干扰可见度大于4.0 dB，对于大多数感测应用而言已足够。这种具有刚性结构的折射率传感器可以进一步集成，以成为更可靠的3D芯片实验室，用于可靠的生物医学应用。

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