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【24h】

Nanoimaging with a compact extreme-ultraviolet laser

机译:使用紧凑型极紫外激光进行纳米成像

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摘要

Images with a spatial resolution of 120-150 nm were obtained with 46.9 nm light from a compact capillary-discharge laser by use of the combination of a Sc-Si multilayer-coated Schwarzschild condenser and a free-standing imaging zone plate. The results are relevant to the development of compact extreme-ultraviolet laser-based imaging tools for nanoscience and nanotechnology.
机译:通过结合使用Sc-Si多层涂覆的Schwarzschild聚光镜和独立式成像带板,用紧凑型毛细管放电激光器的46.9 nm光获得具有120-150 nm空间分辨率的图像。该结果与用于纳米科学和纳米技术的紧凑型基于极端紫外线的激光成像工具的开发有关。

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