Soft 20-nm resolution x-ray microscopy demonstrated by use of multilayer test structures

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Soft 20-nm resolution x-ray microscopy demonstrated by use of multilayer test structures

机译：通过使用多层测试结构展示了20纳米分辨率的软X射线显微镜

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A spatial resolution of 20 nm is demonstrated at 2.07-nm wavelength by use of a soft x-ray microscope based on Fresnel zone plate lenses and partially coherent illumination. Nanostructural test patterns, formed by sputtered multilayer coatings and transmission electron microscopy thinning techniques, provide clear experimental results.

机译：通过使用基于菲涅耳波带片透镜和部分相干照明的软X射线显微镜，在2.07 nm波长处证明了20 nm的空间分辨率。通过溅射多层涂层和透射电子显微镜薄化技术形成的纳米结构测试图案，提供了清晰的实验结果。

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《Optics Letters》 |2003年第21期|共3页
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正文语种 eng
中图分类光学;
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