Sinusoidally phase-modulated interference microscope for high-speed high-resolution topographic imagery

A. Dubois; L. Vabre; A. C. Boccara

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Sinusoidally phase-modulated interference microscope for high-speed high-resolution topographic imagery

机译：正弦调相干涉显微镜，用于高速高分辨率地形图

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We describe an interference microscope that produces topographic images with a minimum acquisition time of 20 ms. The system is based on phase-shifting interferometry with sinusoidal phase modulation induced by the oscillation of an interferometric objective (Michelson or Mirau). A CCD camera captures four images per oscillation period to produce a phase map in real time. The system is installed on a commercial microscope.

机译：我们描述了一种干涉显微镜，该显微镜可以产生最少20 ms的采集时间的地形图像。该系统基于相移干涉测量法，并通过干涉物镜（Michelson或Mirau）的振荡而产生正弦相位调制。 CCD摄像机每个振荡周期捕获四张图像，以实时生成相位图。该系统安装在商用显微镜上。

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来源
《Optics Letters》 |2001年第23期|共3页
作者
A. Dubois; L. Vabre; A. C. Boccara;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光学;
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1. Sinusoidally phase-modulated interference microscope for high-speed high-resolution topographic imagery [J] . A. Dubois, L. Vabre, A. C. Boccara Optics Letters . 2001,第23期

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Sinusoidally phase-modulated interference microscope for high-speed high-resolution topographic imagery

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