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Record high extreme-ultraviolet efficiency at near-normal incidence from a multilayer-coated polymer-overcoated blazed ion-etched holographic grating

机译：从多层涂覆的聚合物包覆的火焰离子刻蚀全息光栅上以接近法线入射的高紫外效率记录下来

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We have measured the extreme-ultraviolet (EUV) efficiency of a polymer-overcoated blazed ion-etched holographic test grating. The grating had a magnetron-sputtered MO2C/Si multilayer coating matched to the grating blaze angle of 2.78degrees. At an angle of incidence of 5.6degrees and a wavelength of 15.79 nm, the measured efficiency peaks in the second outside order at 29.9%. The derived groove efficiency is 53.0%. To the best of our knowledge these are the highest values obtained yet at EUV wavelengths from a holographic ion-etched blazed grating. (C) 2004 Optical Society of America.
机译：我们已经测量了聚合物包覆的火焰离子蚀刻全息测试光栅的极紫外（EUV）效率。光栅具有磁控溅射的MO2C / Si多层涂层，与涂层的闪耀角为2.78度匹配。在5.6度的入射角和15.79 nm的波长下，测得的效率以29.9％的第二外部峰峰值。导出的凹槽效率为53.0％。据我们所知，这是从全息离子蚀刻火焰光栅在EUV波长下获得的最高值。 （C）2004年美国眼镜学会。

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