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Muscular MEMS-the engineering of liquid crystal elastomer actuators

机译：肌肉MEMS-液晶弹性体致动器的工程

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A new class of soft-matter actuator, the liquid crystal elastomer (LCE), shows promise for application in a wide variety of mechanical microsystems. Frequently referred to as an ` artificial muscle', this family of materials exhibits large actuation stroke and generates considerable force, in a compact form which may easily be combined with the structures and devices commonly used in microsystems and MEMS. We show here how standard microfabrication techniques may be used to integrate LCEs into mechanical microsystems and present an in-depth analysis of their mechanical and actuation properties. Using an example from micro-optics and optical MEMS, we demonstrate that their performance and flexibility allows realization of entirely new types of tunable optical functionality.
机译：新型的软物质致动器，液晶弹性体（LCE），显示出在各种机械微系统中的应用前景。通常被称为“人造肌肉”，这一系列材料以紧凑的形式表现出较大的驱动冲程并产生相当大的力，可以轻松地与微系统和MEMS中常用的结构和设备结合在一起。我们在这里展示了如何使用标准的微细加工技术将LCE集成到机械微系统中，并对它们的机械和驱动特性进行了深入的分析。使用来自微光学和光学MEMS的示例，我们证明了它们的性能和灵活性允许实现全新的可调光学功能。

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