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首页> 外文期刊>Physica Scripta: An International Journal for Experimental and Theoretical Physics >Optical characterization of As-S thin films induced by plasma immersion O~- ion implantation
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Optical characterization of As-S thin films induced by plasma immersion O~- ion implantation

机译：等离子体浸没O〜-离子注入诱导的As-S薄膜的光学表征

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In this study, optical constants of different thicknesses of stoichiometric composition As_(40)S_(60) obtained from transmission spectra were investigated. The effect of exposure to oxygen plasma immersion ion implantation (O~--PIII) on the optical constants of the same samples of different thicknesses was also investigated. It is observed that the O ~--PIII treatment can effectively improve the transmission spectra of the samples, particularly in medium and transparent regions; therefore the refractive index decreases. In addition, the optical band gap E_g ~(opt) was determined before and after PIII from the absorption coefficient values using Tauc's procedure, i.e. from the relationship α hν = K(hν - E_g ~(opt))~2 where K is a constant. The O~--PIII causes an increase in the energy gap of stoichiometric composition As_(40)S_(60).
机译：在这项研究中，研究了从透射光谱获得的不同厚度的化学计量组成As_（40）S_（60）的光学常数。还研究了暴露于氧等离子体浸没离子注入（O〜-PIII）对不同厚度的相同样品的光学常数的影响。观察到O〜--PIII处理可以有效地改善样品的透射光谱，特别是在中等和透明区域。因此折射率降低。另外，使用Tauc过程根据吸收系数值，即根据关系式αhν= K（hν-E_g〜（opt））〜2确定PIII之前和之后的光学带隙E_g〜（opt）〜，其中K为a不变。 O --- PIII导致化学计量组成As_（40）S_（60）的能隙增大。

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