Oxide - Tausendsassas fur die Elektronik

Jochen Mannhart; Darrell G. Schlom

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Oxide - Tausendsassas fur die Elektronik

机译：氧化物-电子行业的全方位产品

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Dank gewaltiger Fortschritte der Dünnschichttechnik ist es seit einem Jahrzehnt m?glich, aus einer Vielzahl von Materialien hochwertige Schichten und Multilagenstrukturen zu wachsen. Die für elektronische Bauelemente zur Verfügung stehende Materialpalette hat sich dadurch wesentlich verbreitert und ist inzwischen au?erordentlich reichhaltig. Die mit Oxiden erzielbaren Funktionalit?ten sind sehr vielf?ltig und umfassen mit Piezoelektrizit?t, Sensor-eigenschaften und elektrooptischem Verhalten sogar die übergangsbereiche zur Mechanik, Optik, Chemie und Biologie. Die Halbleiterindustrie nutzt schon jetzt funktionale Oxide, beispielsweise Ferroelektrika für nichtflüchtige Speicher, und im Jahr 2007 sollen in den Transistoren der Laptops Hafnium-basierte Oxide als Gate-Dielektrika eingesetzt werden.

机译：由于薄膜技术的巨大进步，十年来有可能用多种材料来生长高质量的层和多层结构。结果，可用于电子元件的材料范围已大大扩展，现在非常丰富。氧化物可以实现的功能非常多样，包括压电性，传感器特性和电光行为，甚至包括向机械，光学，化学和生物学的过渡领域。半导体行业已经在使用功能性氧化物，例如用于非易失性存储器的铁电材料，并且在2007年，ha基氧化物将用作笔记本电脑晶体管的栅极电介质。

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来源
《Physik journal》 |2005年第6期|共8页
作者
Jochen Mannhart; Darrell G. Schlom;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类物理学;
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