42 ENGINEERING; CAPACITORS; DIAPHRAGM; ELECTROSTATICS; FABRICATION; FEEDBACK; MECHANICAL POLISHING; MEMBRANES; SENSITIVITY;
机译:电容式双背板MEMS麦克风的谐波平衡非线性识别
机译:电容式双背板MEMS麦克风的非线性模型和系统辨识
机译:用于航空声学测量的微机械双背板电容麦克风
机译:电容式双背板MEMS麦克风的非线性识别
机译:MEMS双背板电容式麦克风的设计,制造和表征。
机译:带有弹簧支撑膜片的MEMS双背板电容麦克风的设计与建模用于移动设备应用
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。