Diffraction Gratings; Etching; Fabrication; Machining; Miniaturization; Silicon; Silicon Nitrides; Silicon Oxides; Meetings;
机译:硅树脂模具制造的亚微米周期光栅耦合器
机译:在真正独立的单模光纤中,低损耗,高反射率,一阶,俯仰光纤布拉格光栅制造
机译:用于光谱仪的微机械垂直变形变节距光栅的表征
机译:使用模具微加工制造亚微米节距的大面积光栅
机译:飞秒激光微加工用于硅模具制造和热压花用于聚合物微复制的实验表征。
机译:具有原子光栅应用的带有衍射光栅的细长微机械蒸气室中的激光路由
机译:用大面积制作高质量亚微米金光栅 用于spR传感器的脉冲激光干涉光刻