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曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅的模具以及使用该曲面衍射光栅的模具的曲面衍射光栅

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摘要

本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。

著录项

公开/公告号CN104335082B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-03

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社日立高新技术;
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申请/专利号CN201380029764.7
发明设计人青野宇纪;江畠佳定;松井繁;渡边哲也;小野田有吾;
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申请日2013-06-03
分类号G02B5/18(20060101);B29C59/02(20060101);B29L11/00(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强;严星铁
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:55:19

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-07-17

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B5/18 授权公告日:20170503 终止日期:20190603 申请日:20130603

专利权的终止
2017-05-03

授权

授权
2017-05-03

授权

授权
2015-03-11

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/18 申请日:20130603

实质审查的生效
2015-03-11

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/18 申请日:20130603

实质审查的生效
2015-02-04

公开

公开
2015-02-04

公开

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