CHIPS (ELECTRONICS); COMMUNICATION EQUIPMENT; FABRICATION; FIELD EFFECT TRANSISTORS; GALLIUM ARSENIDES; INTEGRATED CIRCUITS; LITHOGRAPHY; MICROELECTRONICS; MICROWAVE CIRCUITS; MILLIMETER WAVES; PHASED ARRAYS; SIGNAL RECEPTION; TRANSMISSION; ELECTRON BEAMS; METALLIZING; TRANSISTORS; WAFERS;
机译:通过光学步进光刻制造的用于汽车雷达系统的GaAs HEMT MMIC芯片组
机译:利用电子束光刻技术制造平面硅多芯片模块以精确定位和互连芯片的可行性研究
机译:通过一步电子束光刻工艺制备高度规则的悬浮石墨烯纳米带
机译:通过剂量调制电子束光刻和选择性热回流制造用于光学应用的分步和回流3-D轮廓
机译:通过电子束光刻技术制造衍射光学元件。
机译:电子束和光学光刻技术在医药领域的聚乙二醇水凝胶结构的制备
机译:采用单步电子束光刻的聚焦光栅耦合器的制造技术