An Electrostatic Actuated MEMS Variable Capacitor

机译：静电驱动MEMS可变电容器

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可变电容器能够广泛应用于跳频通讯及任何要求电容依需要而改变的场合。本文利用ANSYS软件进行仿真，并结合MEMS器件的特点进行优化，设计并制作了由MEMS工艺实现的微型的静电驱动的可变电容器件，通过实验测试证明此器件具有稳定的工作特性。本论文的主要研究工作有：1．分析几种驱动方法的原理，比较其优缺点，结合现有实验条件综合考虑，确定静电驱动方式。实践证明，微静电驱动技术是完全与硅材料、IC处理技术相一致的，便于集成化、一体化。2．以半导体器件电子学和微电子学为理论基础，设计可变电容器版图，设计工艺流程，确定最优工艺条件和最合适的制备方法。3．以集成电路工艺和部分成熟的MEMS工艺为工作基础，制作...

机译：可变电容器能够广泛应用于跳频通讯及任何要求电容依需要而改变的场合。本文利用ANSYS软件进行仿真，并结合MEMS器件的特点进行优化，设计并制作了由MEMS工艺实现的微型的静电驱动的可变电容器件，通过实验测试证明此器件具有稳定的工作特性。本论文的主要研究工作有：1．分析几种驱动方法的原理，比较其优缺点，结合现有实验条件综合考虑，确定静电驱动方式。实践证明，微静电驱动技术是完全与硅材料、IC处理技术相一致的，便于集成化、一体化。2．以半导体器件电子学和微电子学为理论基础，设计可变电容器版图，设计工艺流程，确定最优工艺条件和最合适的制备方法。3．以集成电路工艺和部分成熟的MEMS工艺为工作基础，制作...

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作者
冯海玉;
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年度 2004
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正文语种 zh_CN
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