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机译:使用光致抗蚀剂热回流方法形状误差及其在微透镜阵列制造中的补偿
Sin Hyeong Kim; Seok Kwan Hong; Kang Hee Lee; Young Hak Cho;
机译:通过空间约束热回流制造具有明确的形状的微透镜阵列
机译:使用激光烧蚀和溶剂回流法制造微透镜阵列和双焦点微透镜
机译:一种使用热回流和重复旋转涂层的高填充因子六边形微透镜阵列的一种新颖且快速的制造方法
机译:使用扁长球体近似评估热回流之前半椭圆体微透镜制造的光致抗蚀剂厚度
机译:模拟光刻胶接触孔阵列的热回流。
机译:使用工具伺服驱动段车削法在单晶硅上制造六角微透镜阵列
机译:使用UV接近印刷在光致抗蚀剂中制造凹面微透镜阵列模具
机译:预成型光刻胶用于折射微透镜制造
机译:具有球形表面形状的模具,微晶硅以及制造硅模和微晶硅阵列的方法
机译:具有非球面表面形状的硅模具和微透镜阵列的模具,微透镜以及制造方法
机译:SU-8光致抗蚀剂微阵列的制造方法及其微阵列
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