机译:基于市售浮栅晶体管技术的微机电惯性传感器的表面微机械
机译:基于浮栅金属氧化物半导体场效应晶体管作为传感器的惯性传感器的设计考虑及机电仿真
机译:高精度惯性传感器的基于单晶硅的表面微加工:可靠性技术和设计
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机译:浮栅晶体管表面微机械梁的表征
机译:采用晶片键合技术构建的电容式微加工超声换能器(CMUT)。
机译:在MEMS气敏系统中使用浮栅MOS晶体管作为传感器
机译:微机械浮栅高电子迁移率中的等离子体效应 晶体管
机译:高温压力传感器的技术趋势:微机械加工的影响