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机译:朝向惯性级振动微晕术:高Q内硅式绝缘体调谐叉装置
M. Zaman; A. Sharma; B. Amini; F. Ayazi;
机译:表面安装器件阵列的制造32.768 kHz石英音叉型晶体:光刻和选择性蚀刻石英音叉谐振器阵列,并进行随后的光刻胶喷涂
机译:高Q压电微音叉的多峰表征
机译:匹配MEMS振动调谐叉陀螺的机械响应
机译:超高Q微机械面音叉
机译:高Q AFM传感器在液体中使用平衡拖曳石英音叉
机译:操作控制高Q音叉传感器的锁相环 用于扫描力显微镜
机译:基于振动音叉的六自由度惯性测量MEMS器件
机译:作为音叉零惯性的音叉
机译:调谐叉式陀螺仪中的振动误差补偿,如斜方振动陀螺仪(CVG)
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