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Optimal pareto solutions of a dynamic C chart: An application of statistical process control on a semiconductor devices manufacturing process

机译:动态C图表的最佳pareto解决方案:统计过程控制在半导体器件制造过程中的应用

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摘要

The present paper proposes a novel economic-statistical design procedure of a dynamic c control chart for the Statistical Process Control (SPC) of the manufacturing process of semiconductor devices. Particularly, a non-linear constrained mathematical programming model is formulated and solved by means of the ε-constraint method. A numerical application is developed in order to describe the Pareto frontier, that is the set of optimal c charts and the related practical considerations are given. The obtained results highlight how the performance of the developed dynamic c chart overcome that of the related static one, thus demonstrating the effectiveness of the proposed procedure.
机译:本文提出了一种新型的动态c控制图的经济统计设计程序,用于半导体器件制造过程的统计过程控制(SPC)。特别地,通过ε约束方法建立并求解了非线性约束数学规划模型。为了描述帕累托边界,开发了一个数值应用程序,即给出了最佳c图集并给出了相关的实际考虑。获得的结果突出了所开发的动态c图的性能如何克服了相关静态c图的性能,从而证明了所提出程序的有效性。

著录项

  • 作者

    Lupo T.; Sgroi F.;

  • 作者单位
  • 年度 2015
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类

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