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【2h】

Untersuchungen einer gepulsten Magnetronentladung bei der Abscheidung von Oxidschichten mittels optischer Emissionsspektroskopie und elektrischer Sonden

机译：利用光发射光谱和电探针研究氧化层沉积过程中的脉冲磁控管放电

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Welzel Stefan;
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年度 2004
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