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从六氟化硫混合气体中提纯六氟化硫气体的装置及方法

摘要

从六氟化硫混合气体中提纯六氟化硫气体的装置及方法,包括混合气体抽气管路、缓冲罐、稳压阀、质量流量控制器、第一吸附柱、第二吸附柱、存储罐和氮气排空管路;本发明通过第一吸附柱和第二吸附柱的交替工作和再生,可以达到连续提纯SF

著录项

  • 公开/公告号CN109432947A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 河南省日立信股份有限公司;

    申请/专利号CN201811378711.7

  • 发明设计人 汪献忠;李建国;朱会;

    申请日2018-11-19

  • 分类号

  • 代理机构郑州豫开专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人朱俊峰

  • 地址 450001 河南省郑州市高新区玉兰街101号

  • 入库时间 2024-02-19 06:37:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/04 申请日:20181119

    实质审查的生效

  • 2019-03-08

    公开

    公开

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