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一种使用MEMS超小尺寸光谱仪

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本发明公开一种使用MEMS超小尺寸光谱仪，其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器，入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置，MEMS设于色散光栅的衍射方向，所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成，PD探测器设于入射光栏内侧；入射光由入射光栏射入，准直透镜用于入射光的准直，准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅，色散光栅将入射光衍射至MEMS，经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。本发明的光谱仪结构简单、尺寸小、低成本、波长范围宽的超小光谱仪。

著录项

公开/公告号CN109425431A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05

原文格式PDF
申请/专利权人福州高意通讯有限公司;
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申请/专利号CN201710773046.0
发明设计人吴砺;胡豪成;郑保忠;李阳;柏天国;
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申请日2017-08-31
分类号
代理机构福州君诚知识产权代理有限公司;
代理人戴雨君
地址 350000 福建省福州市晋安区福兴大道39号
入库时间 2024-02-19 06:45:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J3/36 申请日:20170831

实质审查的生效
2019-03-05

公开

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