公开/公告号CN109314042A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 霍尼韦尔国际公司;
申请/专利号CN201780036256.X
申请日2017-06-14
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人杨贝贝
地址 美国新泽西州
入库时间 2024-02-19 06:55:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20170614
实质审查的生效
2019-02-05
公开
公开
机译: 适用于高级平面化应用的材料和自旋涂层方法
机译: 适用于高级平面化应用的材料和旋涂方法
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