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适用于高级平面化应用的材料和旋涂方法

摘要

本发明公开提供了一种组合物,所述组合物包括树脂,所述树脂包括一种或多种硅基材料、一种或多种有机基材料、或硅基材料和有机基材料的组合。所述组合物还包括沸点为140℃至250℃的第一溶剂和沸点为50℃至110℃的第二溶剂,其中所述第一溶剂与所述第二溶剂的重量比为1∶1至1∶5。还提供了将所述涂层施用到基底上的方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20170614

    实质审查的生效

  • 2019-02-05

    公开

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