• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种测量单粒子效应引起的寄生双极型晶体管效应放大系数的方法

一种测量单粒子效应引起的寄生双极型晶体管效应放大系数的方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明提出了一种测量单粒子效应引起的寄生双极型晶体管放大系数的方法，包括：设计出测量晶体管的测试结构；测量时，将待测晶片放入设计的实验装置，利用带孔金属挡板确定轰击位置，激光束通过密封的激光罩引入真空舱，且激光罩可以控制粒子入射方向；所有晶体管源区、漏区和栅极通过金属布线引出连接到金属接触板(PAD)，通过铜线焊接到真空仓外接插口；漏区上方有“+”标志，用于与带孔铅挡板对准，确定粒子入射位置。当单个高能粒子轰击晶体管漏区时，晶体管源端、漏端、正栅和背栅通过连接出口外接偏置电压(对N型晶体管，源端和正栅接地，漏端接电源电压，背栅接负电压；对P型晶体管，源端和正栅接电源电压，漏端接地，背栅接正电压)，漏端电流通过半导体参数分析仪被测量。放大系数由公式β＝I

著录项

  • 公开/公告号CN109212398A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-01-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 微龛(北京)半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN201710529341.1

  • 发明设计人 刘森;张阳;

    申请日2017-07-01

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100085 北京市海淀区上地信息路26号01层0112-194室

  • 入库时间 2024-02-19 07:07:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20170701

    实质审查的生效

  • 2019-01-15

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号