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一种振动波微纳电容传感器及流体管道振动波监测阵列

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本发明公开了一种振动波微纳电容传感器，包括外壳，外壳包括上半壳和下半壳，上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，上半壳的内壁镀有上金属膜，第一腔室中充有第一气体作为电介质，构成第一电容；隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，下半壳的内壁镀有下金属膜，第二腔室中充有第二气体作为电介质，构成第二电容。本发明提供一种振动波微纳电容传感器，能够灵敏的反映流体管道振动波特性，并提供一种流体管道振动波监测阵列，利用监测阵列全面监测流体管道的振动波，反映流体管道中的奇点。

著录项

公开/公告号CN109555980A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-02

原文格式PDF
申请/专利权人郑州大学;
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申请/专利号CN201811568740.X
发明设计人段智勇;邵倩倩;李韦烨;杨琳;李梦珂;马刘红;钟英辉;苏宇锋;郑国恒;
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申请日2018-12-21
分类号F17D5/06(20060101);G01H11/06(20060101);
代理机构41104 郑州联科专利事务所(普通合伙);
代理人刘建芳
地址 450001 河南省郑州市高新区科学大道100号
入库时间 2024-02-19 07:41:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-08-07

专利权的转移 IPC(主分类):F17D5/06 登记生效日:20200720 变更前: 变更后: 申请日:20181221

专利申请权、专利权的转移
2020-02-07

授权

授权
2019-04-26

实质审查的生效 IPC(主分类):F17D5/06 申请日:20181221

实质审查的生效
2019-04-02

公开

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