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用于检查多个测量物体的材料属性的设备

摘要

一种检查设备包括光源。第一测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第一测量物体。第二测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第二测量物体。检查单元被配置为接收从第一测量单元提供的第一光信号并且使用第一光信号检查第一测量物体,并且接收从第二测量单元提供的第二光信号并且使用第二光信号检查第二测量物体。测量位置选择单元被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用两个测量单元的检查。

著录项

  • 公开/公告号CN109507190A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN201811066403.0

  • 申请日2018-09-13

  • 分类号G01N21/88(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人邵亚丽

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2024-02-19 07:58:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-22

    公开

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