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缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法

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本发明提供高通用性的用于检查圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷或者在圆偏振光或椭圆偏振光的生成中使用的相位差板的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法、及使用该缺陷检查方法的圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法。缺陷检查装置具备：光照射部，其配置在圆偏振板或椭圆偏振板所具有的直线偏振板侧，向圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；反射构件，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相反的一侧，将从被照射了检查光的圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；摄像部，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相同的一侧。

著录项

公开/公告号CN109490323A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-19

原文格式PDF
申请/专利权人住友化学株式会社;
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申请/专利号CN201811059584.4
发明设计人丹羽泰纪;
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申请日2018-09-11
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人刘建
地址日本国东京都
入库时间 2024-02-19 08:02:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-23

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/95 申请日:20180911

实质审查的生效
2019-03-19

公开

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