首页> 中国专利> 用于硅晶锭生长的换热器、硅晶锭的生长炉和制备硅晶锭的方法

用于硅晶锭生长的换热器、硅晶锭的生长炉和制备硅晶锭的方法

摘要

本发明公开了用于硅晶锭生长的换热器、硅晶锭的生长炉和制备硅晶锭的方法,其中,用于硅晶锭生长的换热器在沿轴向方向上包括多个冷却区间,所述多个冷却区间包括至少一个慢冷区间和至少一个快冷区间,其中,所述慢冷区间的冷却效率低于所述快冷区间的冷却效率。由此,采用该换热器对硅晶锭进行冷却,可以使得空位在径向上充分扩散,分布均匀,避免原生缺陷因局部较高空位浓度而产生的氧沉淀聚集。

著录项

  • 公开/公告号CN109537045A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司;

    申请/专利号CN201811646237.1

  • 发明设计人 张楠;陈松松;颜子棋;

    申请日2018-12-29

  • 分类号

  • 代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人赵天月

  • 地址 221004 江苏省徐州市徐州经济开发区杨山路66号

  • 入库时间 2024-02-19 08:07:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/00 申请日:20181229

    实质审查的生效

  • 2019-03-29

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号