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一种微腔放电紫外辐射器件及其制备方法和基于其的微腔阵列

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本发明公开了一种微腔放电紫外辐射器件及其制备方法和基于其的微腔阵列，属于紫外光源器件制造技术领域。器件包括衬底、底电极、介质层、微腔腔体、障壁、荧光粉层、介质板和顶电极。通过微腔气体放电的方式产生微腔等离子体，激发态原子和准分子衰减辐射真空紫外(VUV)，利用VUV轰击不同的荧光粉层，可获得不同波段的目标谱线。制备：采用物理沉积法在衬底背面和上面分别制备底电极和介质层，通过刻蚀的方式在衬底上制备微腔腔体，采用物理沉积的方式在介质板上制备顶电极，最后通过封装的方式形成带有微腔结构的紫外辐射器件。本发明所述的微腔放电紫外辐射器件无污染、高辐射效率、小体积、稳定性好。

著录项

公开/公告号CN109767966A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-17

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201811614394.4
发明设计人王耀功;麻晓琴;张小宁;王文江;周璇;周琛捷;
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申请日2018-12-27
分类号H01J37/04(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人徐文权
地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
入库时间 2024-02-19 10:06:30

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-06-11

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/04 申请日:20181227

实质审查的生效
2019-05-17

公开

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