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激光器输出光空间相干性抑制装置

摘要

一种激光器输出光空间相干性抑制装置,包括激光器、扩束镜、聚焦透镜、第一毛玻璃、传输光纤、成像透镜、第二毛玻璃、匀光棒、成像透镜、第三毛玻璃。本发明利用第一毛玻璃破坏激光器输出光的空间相干性,利用传输光纤模间色散效应及匀光棒的非相干叠加原理进一步抑制光束的空间相干性;通过两个成像透镜调节照明NA(数值孔径)与照明视场的大小;通过第二毛玻璃、第三毛玻璃增强照明光场和照明光瞳的均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN109814270A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201910226513.7

  • 发明设计人 冯鹏;唐锋;王向朝;

    申请日2019-03-25

  • 分类号G02B27/48(20060101);G01D5/353(20060101);

  • 代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人张宁展

  • 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号

  • 入库时间 2024-02-19 10:15:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/48 申请日:20190325

    实质审查的生效

  • 2019-05-28

    公开

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