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用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、使用载体的处理系统和用于从保持布置释放基板的方法

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本公开内容涉及一种用于保持基板的保持器。所述保持器包括：表面，经构造为面向所述基板，和粘合剂，被提供在所述表面上方并包括多个粘合结构。所述多个粘合结构包括：从所述表面突出的第一粘合结构；和从所述表面突出的第二粘合结构。所述第一粘合结构和所述第二粘合结构具有平行于所述表面的各向异性柔性。所述第一粘合结构和所述第二粘合结构的最小柔性方向不同。

著录项

公开/公告号CN109757111A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-14

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201780042346.X
发明设计人西蒙·刘;
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申请日2017-09-01
分类号C23C14/50(20060101);B23Q3/08(20060101);C23C16/458(20060101);F16M13/02(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 10:33:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-06-07

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/50 申请日:20170901

实质审查的生效
2019-05-14

公开

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