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基于太赫兹光谱技术的热障涂层厚度测量系统和测量方法

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本发明公开了一种基于太赫兹时域光谱技术的热障涂层厚度测量系统和测量方法，所述测量系统包括飞秒激光系统、太赫兹波发射器、太赫兹波探测器、时间延迟控制器和信号处理器，其中所述飞秒激光系统，用于生成超短飞秒脉冲并输出泵浦光和探测光；所述太赫兹波发射器，经所述泵浦光激发生成太赫兹波，并发射至被测物体；所述太赫兹波探测器，所述探测光经时间延迟控控制器延迟后进行光电导采样探测，获得所述被测物体的涂层外表面和涂层内表面返回的两个太赫兹波脉冲；所述处理器，用于根据所述两个太赫兹波脉冲进行数据处理获得时间间隔并计算所述被测物体的涂层厚度。本发明提供的实施例能够实现快速非接触测量。

著录项

公开/公告号CN109883337A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-14

原文格式PDF
申请/专利权人北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院;
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申请/专利号CN201910070901.0
发明设计人葛萌;张铁犁;靳硕;高翌春;刘晓旭;王兵;谢阳;
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申请日2019-01-25
分类号G01B11/06(20060101);
代理机构11565 北京国之大铭知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张伟凤
地址 100076 北京市丰台区南大红门路1号
入库时间 2024-02-19 10:51:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20190125

实质审查的生效
2019-06-14

公开

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