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一种电沉积后退火制备铜铟铝硫或铜铟铝硒或铜铟铝硫硒薄膜太阳能电池材料的方法

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本发明公开了一种电沉积后退火制备铜铟铝硫或铜铟铝硒或铜铟铝硫硒薄膜太阳能电池材料的方法。先形成配位物的乙醇溶液，再以铜盐和铝盐为原料，在ITO导电玻璃上一步电沉积制备铜铝前驱体薄膜，再将前驱体薄膜退火，退火过程中ITO导电层中的铟扩散到薄膜中，获得纯相的铜铟铝硫或铜铟铝硒或铜铟铝硫硒薄膜。本发明通过控制沉积电势、电解液溶液中溶质浓度等实现对薄膜成分、晶体结构、形貌等的可控制备，产物为纯相薄膜，无二元化合物杂质。电化学沉积窗口宽，沉积过程无析氢反应对薄膜产生的不利影响。与高真空气相法相比，本发明具有成膜质量好、成本低廉、可控性强、操作简单等优点，易于实现工业大规模生产。

著录项

公开/公告号CN109860027A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-07

原文格式PDF
申请/专利权人湘潭大学;
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申请/专利号CN201910134876.8
发明设计人杨穗;田心怡;钟建新;易捷;李红星;
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申请日2019-02-24
分类号H01L21/02(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构43108 湘潭市汇智专利事务所(普通合伙);
代理人冷玉萍
地址 411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号
入库时间 2024-02-19 11:04:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-02

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20190224

实质审查的生效
2019-06-07

公开

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