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负性光敏性聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用

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摘要

本发明公开了一种负性光敏性聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用，属于功能高分子材料领域。所述负性光敏性聚酰胺酸酯树脂由脂环式四羧酸二酐、不饱和双键醇类化合物、以及含有醚基、酯基或氟的芳香族二胺和分子量调节剂制备而成。包括该负性光敏性聚酰胺酸酯树脂的树脂组合物经曝光、显影、热固化后，得到的聚酰亚胺薄膜具有高透明度、高分辨率等特点，同时具有低介电常数、低介电损耗、低吸水率与优良的热稳定性等优点，在半导体制造领域具有良好的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN110028669A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-07-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 明士新材料有限公司;

    申请/专利号CN201910284351.2

  • 发明设计人 陈兴;刘洋;

    申请日2019-04-10

  • 分类号C08G73/12(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/16(20060101);

  • 代理机构37100 济南信达专利事务所有限公司;

  • 代理人罗文曌

  • 地址 250204 山东省济南市章丘市刁镇化工工业园

  • 入库时间 2024-02-19 11:14:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C08G73/12 申请日:20190410

    实质审查的生效

  • 2019-07-19

    公开

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