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PbS胶体量子点薄膜声表面波气体传感器

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本发明公开了一种PbS胶体量子点薄膜声表面波气体传感器及其制作方法，属于新型电子材料和智能传感器领域。通过阳离子交换法合成PbS CQDs，采用传统的光刻工艺制作ST切石英晶体SAW延迟线，接着使用旋涂工艺将PbS CQDs涂覆到SAW延迟线的延迟区域，将PbS胶体量子点薄膜较高的比表面积，易吸附气体及对气体敏感的特点，结合声表面波传感器体积小，灵敏度高等优势，制作了一种基于PbS胶体量子点薄膜声表面波气体传感器。该传感器在室温下对NO2浓度从0.5到30ppm气体的动态传感响应从1增加到12kHz，传感器的理论检测底限约为32ppb，具有良好的重复性，本发明在智能传感器仿生嗅觉方面具有广阔的应用前景和研究价值。

著录项

公开/公告号CN109917000A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-21

原文格式PDF
申请/专利权人深圳大学;
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申请/专利号CN201811507309.4
发明设计人罗景庭;李敏;范平;冯晓莹;马少敏;洪锐拓;区冠文;
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申请日2018-12-04
分类号G01N29/02(20060101);G01N29/036(20060101);H01L21/208(20060101);
代理机构
代理人
地址 518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号
入库时间 2024-02-19 11:18:46

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-16

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N29/02 申请日:20181204

实质审查的生效
2019-06-21

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