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单电子晶体管(SET)和基于SET的QUBIT检测器设备

摘要

本文公开的是单电子晶体管(SET)装置以及相关方法和装置。在一些实施例中,一种SET装置可包括:第一和第二源极/漏极(S/D)电极;多个岛,被布置在第一和第二S/D电极之间;和介电材料,被布置在所述岛的相邻岛之间,布置在第一S/D电极和相邻的所述岛中的岛之间,并且布置在第二S/D电极和相邻的所述岛中的岛之间。

著录项

  • 公开/公告号CN109643730A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN201680088879.7

  • 发明设计人 H.C.乔治;J.S.克拉克;

    申请日2016-09-30

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人黄涛

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2024-02-19 11:23:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/775 申请日:20160930

    实质审查的生效

  • 2019-04-16

    公开

    公开

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