法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 申请日:20190420
实质审查的生效
2019-07-05
公开
公开
机译: 使用扩展的卡尔曼滤波器消除纳米尺度测量中出现的非线性误差的激光干涉仪补偿装置
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
机译: 用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪