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一种用于提高光电探测器光谱响应度的多层结构

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本发明提出了一种用于提高光电探测器光谱响应度的多层结构。该结构由衬底上依次沉积的底层金属层1、由1~N个子层构成的源层2、金属层3和顶部介质层4组成。底层金属层1与金属层3以及中间源层2构成一种光电探测器结构，顶部介质层4作为光学优化层与光电探测器相耦合，能够实现不同波段光波长的完美吸收，从而提高光电探测器对该波段光谱的光谱响应度。通过合理设计各层的厚度配比，并调节源层2的厚度可实现对不同波长光的完美吸收，减少反射系数，提高全波段的光谱响应度。该结构简单，容易制备，有助于提高现有光电探测器的光谱响应度。

著录项

公开/公告号CN109994611A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-09

原文格式PDF
申请/专利权人中国计量大学;
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申请/专利号CN201910274292.0
发明设计人孟彦龙;檀珺;徐恺;
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申请日2019-04-08
分类号
代理机构
代理人
地址 310018 浙江省杭州市江干区下沙高教园学源街258号中国计量大学
入库时间 2024-02-19 11:59:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-08-02

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/42 申请日:20190408

实质审查的生效
2019-07-09

公开

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