公开/公告号CN110073482A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 日商乐华股份有限公司;
申请/专利号CN201780076418.2
发明设计人 玉造大悟;
申请日2017-12-04
分类号
代理机构北京三幸商标专利事务所(普通合伙);
代理人刘卓然
地址 日本广岛县
入库时间 2024-02-19 12:18:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20171204
实质审查的生效
2019-07-30
公开
公开
机译: 波形分析装置,波形测量装置,波形分析程序,干涉仪,图案投影形状测量装置和波形分析方法
机译: 波形分析装置,计算机可执行的波形分析程序,干涉仪装置,图案投影形状测量装置以及波形分析方法
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