公开/公告号CN110073504A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN201680090766.0
申请日2016-11-15
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 12:22:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/068 申请日:20161115
实质审查的生效
2019-07-30
公开
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