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信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、程序、基板处理装置、基准数据决定装置及基准数据决定方法

摘要

本发明具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):F04B51/00 申请日:20180313

    实质审查的生效

  • 2019-07-23

    公开

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