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基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法

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摘要

本发明涉及质谱分析技术领域，提供一种基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法，包括：步骤1，将靶材放置于飞行时间质谱仪的真空引出场腔室内，调整激光光路，选取符合测量要求的空间范围选择挡片；步骤2，通过数字延时脉冲发生器和LabVIEW虚拟实验平台控制程序设置激光器、高压脉冲电场，离子探测器之间开门时序和门宽；步骤3，在每一个脉冲的激光烧蚀靶材产生等离子体后，使满足特定条件的离子进入到真空无场漂移腔室后，得到质谱数据；步骤4，将采集得到的质谱数据传输到计算机，进行处理和显示，得到相对应的离子物种信息。本发明能够同时检测等离子体中多电荷态离子的时间演化。

著录项

  • 公开/公告号CN110186995A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大连理工大学;

    申请/专利号CN201910504578.3

  • 发明设计人 丁洪斌;郝媛杰;吴鼎;冯春雷;李聪;海然;

    申请日2019-06-12

  • 分类号G01N27/62(20060101);

  • 代理机构21208 大连星海专利事务所有限公司;

  • 代理人裴毓英

  • 地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

  • 入库时间 2024-02-19 13:40:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/62 申请日:20190612

    实质审查的生效

  • 2019-08-30

    公开

    公开

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