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从清洁媒介固持与保护光掩模或具有防尘薄膜的光掩模的侧边的固持器、清洁光掩模或具有防尘薄膜的光掩模的方法以及开关固持器的装置

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本发明涉及一种固持或保护光掩模或是具有防尘薄膜的光掩模的侧边免受清洁媒介影响的固持器、清洁此类光掩模的方法以及开关固持器的装置。固持器(1)具有：基座，具有至少三个支撑组件(15)，设置在距离基座的底部(9)一距离处，以固持及保持所述光掩模或具有防尘薄膜的光掩模，且具有具上部侧(24)与下部侧(25)的密封框(7、20、21)，其中下部侧可安放于基座上，且其中密封框具有中心开口(26)，其经设定大小使得中心开口可以间隔的方式容纳光掩模。周围弹性密封组件(22)设置于密封框上，以与密封框的上部侧呈角度从中心开口的内周围延伸至中心开口，其中，在空载状态下，密封组件具有小于光掩模的外周围的内周围，且在负载状态下，密封组件周向性地在侧边缘处接触容纳于中心开口中的光掩模。

著录项

公开/公告号CN110291461A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-27

原文格式PDF
申请/专利权人休斯微科光罩仪器股份有限公司;
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申请/专利号CN201780081883.5
发明设计人杰士·克鲁伯格;亚当·贝沙;伍威·戴兹;
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申请日2017-11-16
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/66(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人黄隶凡;刘培培
地址德国斯特内弗斯佛地奈特凡斯缇贝斯雷10
入库时间 2024-02-19 14:26:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20171116

实质审查的生效
2019-09-27

公开

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1. 从清洁媒介固持与保护光掩模或具有防尘薄膜的光掩模的侧边的固持器、清洁光掩模或具有防尘薄膜的光掩模的方法以及开关固持器的装置 [P] . 中国专利： CN110291461A . 2019-09-27
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