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MEMS气体传感器和提高MEMS气体传感器稳定性的方法

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本申请涉及一种MEMS气体传感器、提高MEMS气体传感器稳定性的方法和装置，属于传感器技术领域，所述MEMS气体传感器包括：基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和基于P型掺杂半导体材料的敏感单元中的至少一种，以及，基于P型本征半导体材料的敏感单元；所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测氧化性气体；所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元用于检测还原性气体；所述基于P型本征半导体材料的敏感单元的电气特性稳定，用于修正所述基于N型掺杂半导体材料的敏感单元和/或所述基于P型掺杂半导体材料的敏感单元的电性漂移。有效提高长期稳定性，延长传感器的使用寿命。

著录项

公开/公告号CN110361423A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-22

原文格式PDF
申请/专利权人北京机械设备研究所;
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申请/专利号CN201910630446.5
发明设计人刘宇航;刘秀洁;许诺;汪晓军;
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申请日2019-07-12
分类号
代理机构北京云科知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张飙
地址 100854 北京市海淀区永定路50号(北京市142信箱208分箱)
入库时间 2024-02-19 14:35:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-02-18

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/12 申请日:20190712

实质审查的生效
2019-10-22

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