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多官能光致产酸剂和包含其的用于厚层的化学增幅型光致抗蚀剂组合物

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摘要

本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度，并且除了作为光致产酸剂的效果之外，还具有抗腐蚀效果。因此，包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。

著录项

  • 公开/公告号CN110325910A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社LG化学;

    申请/专利号CN201880013367.3

  • 发明设计人 林敏映;李泰燮;朴贤旻;

    申请日2018-08-24

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵丹

  • 地址 韩国首尔

  • 入库时间 2024-02-19 14:39:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20180824

    实质审查的生效

  • 2019-10-11

    公开

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