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基于ELM-in-ELM的瑕疵检测方法

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摘要

本发明基于ELM‑in‑ELM的瑕疵检测方法，步骤如下：1）成像装置进行工件图像成型，后通过ORB算法进行特征点的提取及匹配,进一步提取出当前图像中的感兴趣区域，即工件的图像；2)利用ELM‑in‑ELM对提取到的工件图像进行自动特征提取与判别工件是否有瑕疵。

1. 基于ELM-in-ELM的瑕疵检测方法 [P] . 中国专利： CN110428408A . 2019-11-08
2. 一种基于视觉传感器的瑕疵检测装置及其检测方法 [P] . 中国专利： CN112743409B . 2022.03.01
3. FLAW DETECTION APPARATUS AND FLAW DETECTION METHOD USING FLAW DETECTION APPARATUS [P] . 世界知识产权组织专利： WO2017164338A1 . 2017-09-28

机译：瑕疵检测装置及使用瑕疵检测装置的瑕疵检测方法
4. Blemish detection method [P] . 美国专利： US8810696B2 . 2014-08-19

机译：瑕疵检测方法
5. INSPECTING METHOD AND DEVICE FOR MICRO-FLAW IN PHOTO-MASK PATTERN [P] . 日本专利： JPH09203710A . 1997-08-05

机译：光罩图案微瑕疵的检测方法及装置