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具有相对于调制电极横向移位的导电平面的高频光学调制器

摘要

描述了一种光学调制器,该光学调制器具有Mach‑Zehnder干涉仪和与Mach‑Zehnder干涉仪连接的一对RF电极,其中,Mach‑Zehnder干涉仪包括由半导体材料形成的光波导。光学调制器还包括接地平面,该接地平面与传输线电极在不同的平面中隔开,该传输线电极由与Mach‑Zehnder干涉仪连接的一对RF电极的组合形成。接地平面可以与子基座相关联,其中包括Mach‑Zehnder干涉仪和一对RF电极在内的光学芯片安装在子基座上,其中两个半导体光波导朝向子基座取向。描述了形成调制器的方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02F1/225 申请日:20180221

    实质审查的生效

  • 2019-12-06

    公开

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