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化学镀铂液和使用该化学镀铂液得到的铂覆膜

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摘要

本发明的课题在于提供：一种化学镀铂液，其能够以高析出效率进行镀覆处理，即使不含有硫或重金属类也不会发生自分解，镀浴稳定性优异；一种化学镀铂液，其能够抑制铂在图案外析出，仅在必要的位置进行镀铂。另外，本发明的课题在于提供使用了该化学镀铂液的铂镀膜的制造方法；实质上不包含硫和重金属的纯铂镀膜。通过在含有可溶性铂盐、络合剂以及硼氢化合物、氨基硼烷化合物或肼化合物中的任一种化合物、pH为7以上的化学镀铂液中进一步含有下述通式(1)所示的特定羟甲基化合物或其盐，解决了上述课题。R

著录项

公开/公告号CN110621806A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-27

原文格式PDF
申请/专利权人日本高纯度化学株式会社;
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申请/专利号CN201780090500.0
发明设计人柴田和也;上村宇庆;
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申请日2017-12-11
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人于洁
地址日本东京都
入库时间 2024-02-19 16:06:58

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-21

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/44 申请日:20171211

实质审查的生效
2019-12-27

公开

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1. 化学镀铂液和使用该化学镀铂液得到的铂覆膜 [P] . 中国专利： CN110621806A . 2019-12-27
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