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采用具有不同磁场灵敏度的隧道磁阻(TMR)器件以提高检测灵敏度的TMR传感器

摘要

公开了一种采用具有不同磁场灵敏度的TMR器件以提高检测灵敏度的隧道磁阻(TMR)传感器。例如,TMR传感器可用作生物传感器来检测生物材料的存在。在本文公开的方面中,制造TMR传感器中的至少两个TMR器件的自由层以相对于彼此显示出不同的磁特性(诸如MR比率、磁各向异性,矫顽力),使得每个TMR器件将针对给定的杂散磁场显示出不同的电阻变化,以提高磁场检测灵敏度。例如,TMR器件可被制造为具有不同的磁特性,使得一个TMR器件在存在较小杂散磁场的情况下显示出更大的电阻变化,而另一TMR器件在存在较大杂散磁场的情况下显示出较大的电阻变化。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R33/09 申请日:20180329

    实质审查的生效

  • 2019-11-15

    公开

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