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用于清洗工艺腔室的漏液监控装置及清洗工艺腔室

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一种用于清洗工艺腔室的漏液监控装置及清洗工艺腔室，漏液监控装置包括：卡杯，卡杯设置于清洗工艺腔室内，用于接收溅出清洗机台的漏液和非清洗工艺期间的冲洗液；排液管，排液管连接至卡杯的底部，用于将漏液排出清洗工艺腔室；以及漏液传感器，漏液传感器设于排液管内，用于监测是否发生漏液。漏液监控装置可及时发出漏液信号，从而避免出现漏液导致的晶片缺陷或报废、电机腐蚀等情况。

著录项

公开/公告号CN110534452A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03

原文格式PDF
申请/专利权人北京北方华创微电子装备有限公司;
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申请/专利号CN201811326699.5
发明设计人刘效岩;
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申请日2018-11-08
分类号
代理机构北京思创毕升专利事务所;
代理人孙向民
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2024-02-19 16:29:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-27

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20181108

实质审查的生效
2019-12-03

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1. 用于清洗工艺腔室的漏液监控装置及清洗工艺腔室 [P] . 中国专利： CN110534452A . 2019-12-03
2. 具有用于改变衬底温度的衬底托盘的预清洗腔室和借助所述衬底托盘进行的预清洗工艺 [P] . 中国专利： CN105977134A . 2016-09-28
3. In situ chamber cleaning process to remove deposits of by-products from chemical vapor deposition etching chamber [P] . 日本专利： JP2008525999A . 2008-07-17

机译：原位腔室清洗工艺，可去除化学气相沉积蚀刻腔室中的副产物沉积物
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机译：真空沉积腔室的等离子体刻蚀原位清洗工艺-激发气体分别进行等离子体放电激发，并使活化的蚀刻气体进入腔室
5. (54) Title: INTERNAL COMBUSTION ENGINES (57) Abstract: Aii internal combustion engine includes a chamber (12) and a flexible dividing member (18) secured to wall of the chamber and dividing the chamber into a first chamber portion (14) having a variable volume and a second chamber portion (16) having a variable volume. The engine has inlet valving (20, 22) to admit constituents of a combustible mixture into the first cham¬ber portion for combustion therein to provide a pressure increase to cause flexing of the flexible dividing member to reduce the volume of the second chamber portion to force a liquid from the second chamber portion as an energy output of the chamber. The engine has input valving (98) to admit an aqueous fluid into the first chamber portion to provide au aqueous fluid supply in the first chamber portion to protect the flexible dividing member. [P] . IN2012CN02245A . 2012-11-02

机译：（54）标题：内部燃烧发动机（57）摘要：一种内燃机包括：腔室（12）和固定到所述腔室的壁上并且将所述腔室划分为具有以下特征的第一腔室部分（14）的柔性分隔构件（18）：可变容积和具有可变容积的第二腔室部分（16）。发动机具有进气阀（20、22），以使可燃混合物的成分进入第一腔室部分以在其中燃烧，以提供压力增加以引起柔性分隔构件的挠曲，从而减小第二腔室部分的容积。迫使来自第二腔室部分的液体作为腔室的能量输出。发动机具有输入阀（98），以使水性流体进入第一腔室部分，以在第一腔室部分中提供全部水性流体供应，以保护柔性分隔构件。