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电控反射镜、使用了电控反射镜的电扫描器、使用了电控反射镜的激光加工机及电控反射镜的制造方法

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电控反射镜(10)具有：具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12)，通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A)，通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此，提高镜面部的刚性，并且减薄镜面部，使镜面部的背面增强部轻量化。由此，得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。

著录项

公开/公告号CN110494789A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-22

原文格式PDF
申请/专利权人三菱电机株式会社;
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申请/专利号CN201780088522.3
发明设计人久米将实;熊田辉彦;伊藤洋平;小林广纪;
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申请日2017-04-12
分类号G02B26/10(20060101);B23K26/082(20060101);B41J2/47(20060101);G02B5/08(20060101);G02B26/08(20060101);H04N1/113(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人何立波;张天舒
地址日本东京
入库时间 2024-02-19 17:23:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/10 申请日:20170412

实质审查的生效
2019-11-22

公开

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