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反应性溅射装置和使用了该反应性溅射装置的复合金属化合物或混合膜的成膜方法

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本发明具备：成膜室(11)；基板支托(12)，其设置于上述成膜室，对进行成膜的基板S进行保持；减压机(13)，其将上述成膜室减压至规定压力；放电气体导入机(15)，其将放电气体导入至上述成膜室；与一个上述基板对置的两个以上的溅射电极(18、19)，它们分别具备作为成膜材料的靶材(T1、T2)；直流电源(20)，其对上述两个以上的溅射电极供给电力；两个以上的脉冲波转换开关(22、23)，它们连接在上述直流电源与上述两个以上的溅射电极之间，将施加至各个溅射电极的直流电压转换成脉冲波电压；可编程发送器(24)，其能够将与供给至上述两个以上的溅射电极的各个电力相对应的脉冲产生控制信号图案编程，按照该编程，分别对上述两个以上的脉冲波转换开关进行控制；和脉冲反应气体导入机(17)，其基于来自上述电力控制器的脉冲产生控制信号图案，对从上述反应气体导入机向上述成膜室的反应气体的导入进行控制。

著录项

公开/公告号CN110637103A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-31

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社新柯隆;
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申请/专利号CN201880001742.2
发明设计人税所慎一郎;
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申请日2018-04-20
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成
地址日本神奈川县
入库时间 2024-02-19 17:33:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-24

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20180420

实质审查的生效
2019-12-31

公开

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